Céramique haute performance pour l’industrie des semi-conducteurs : matériau support résistant pour cartes à pointes (probe cards) avec coefficient de dilatation augmenté
KYOCERA Fineceramics Europe a amélioré sa céramique haut de gamme et innovante Starceram N3000 P et lance un nouveau nitrure de silicium pour le contrôle du fonctionnement de micro-puces nouvelle génération sur le marché.
- Composants en céramique fine
Kyoto/Paris − L’expansion de la production européenne de semi-conducteurs est aujourd’hui plus que nécessaire. C’est pour cela que l’on peut également constater des progrès constants en matière de développement. Ainsi, les structures de ces circuits hautement intégrés rapetissent et se densifient chaque année. La production de puces IA et de composants pour des appareils électroniques de cinquième génération, tels que des smartphones 5G, est particulièrement exigeante. Les contrôles de qualité et de fonctionnement de ces micro-puces haut de gamme sont tout aussi fastidieux.
Nitrure de silicium comme matériau clé
Avant de séparer les puces, le test est effectué sur le wafer de silicium. Les « probe cards » introduisent jusqu’à 100 000 broches de contact fines et plus dans les contacts des micro-puces et permettent ainsi d’en vérifier le fonctionnement. Une plaquette en nitrure de silicium sert à l’introduction et l’isolation des broches de contact dans la carte de test. Les broches sont ainsi fixées par intervalles réguliers d’une dizaine de microns.
Le nitrure de silicium joue ici un rôle essentiel : le matériau est en mesure de maintenir la constance de ces intervalles, même à des températures extrêmes allant de – 40 °C à + 200 °C (degrés Celsius), températures auxquelles les tests ont lieu.
Le coefficient de dilatation du nouveau matériau a pu être augmenté de façon ciblée par rapport à Starceram N3000 P (température de comparaison + 150 degrés Celsius) :
| Starceram N3000 P | Nouveau matériau |
|---|---|
| a = 2,2 x 10-6 x K-1 |
a = 4,4 x 10-6 x K-1 |
